Основные этапы изготовления интегральной схемы

Рубрики: Это интересно   Комментарии (0)

Последовательность технологических операций открывает создание на пластинке кремния диэлектрического слоя (пленки) двуокиси кремния (SiCb). Двуокись кремния — почти идеальный изолятор, образует прочное покрытие и надежно защищает подложку (пластинку) от проникновения ненужных примесей.

Следующий этап — фотолитографический. На поверхности кремния создаются свободные от оксида участки требуемой конфигурации. Для этого поверхность пластинки покрывается специальным светочувствительным лаком, называемым фоторезистом, который затем засвечивается через маску-фотошаблон. Получившийся негатив подвергают химической обработке и проявляют. Засвеченные участки удаляются.

Далее в те места (окна), где вытравлен оксид, внедряется диффузионным легированием дозированное количество примесных элементов. Обычно легирование осуществляют, нагревая пластинку в парах фосфора или бора при температуре 1100—1200° С.

Неоднократно повторяя эти процессы, наращивают один за другим слои будущей интегральной схемы. Для каждого этажа ИС — своя маска-шаблон. Каждый шаблон отвечает за свою группу первичных элементов или определенный набор ее функций. Есть среди них шаблон, формирующий специальные участки металлизированного покрытия для соединительных цепей сложной конфигурации.

Так, в непрерывной смене масок образуется в кристалле полупроводника и комплект микроскопических .деталей, и их заданная связь. При этом на одной полупроводниковой пластинке в общем технологическом процессе изготовляется большое количество интегральных схем одновременно. Каждая ИС подвергается проверке на работоспособность, и только после этого пластина разделяется на отдельные кристаллы. Негодные ИС отбрасываются, а годные устанавливаются в корпус, затем к ним присоединяются выводы, производится окончательная проверка и герметизация.

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Можно использовать следующие HTML-теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите самый большой кружок: